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上一条:D Fang,F Zheng,B Chen,Y Wang,Y Fang,P Yang,X Wen,C Peng,S Xia. Computation of capacitance and electrostatic forces for the electrostatically driving actuators considering fringe effects[J]. Microsystem Technologies, 2015, 21(10):2089-2096.
下一条:闻小龙,彭春荣,杨鹏飞,等. 基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置[J]. 电子与信息学报, 2017.
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