用于泄漏检测的压力参考装置、装配方法及压力传感器
发布时间：2025-02-16
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- 专利类型：
- 发明
- 专利状态：
- 授权专利
- 授权号：
- CN113776592B
- 是否职务专利：
- 否
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教授 硕士生导师
谢贵久，男，博士，汉族，1983年9月出生；享受政府特殊津贴；曾在国家级研究所（中国电科48所）工作12年、半导体装备国家队（中电科电子装备集团公司）工作5年，历任事业部主任、科技部主任、所长助理、中国电科三级公司总经理、中国电科二级公司总经理助理等职，2018年12月被评为正高级工程师，2024年10月转评为教授；担任国家重点研发计划“高性能制造技术与重大装备专项”总体方案专家、指南专家、责任专家，GFKGJ、JKW、北京市科委、工信部成果鉴定等评审专家。主要从事特种薄膜传感器技术、半导体装备工艺技术开发，主导开发的特种薄膜传感器成功保障SZFC、KJZ、系列飞机、系列车船等型号，主导开发的系列减薄机等半导体设备支持集成电...