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科研项目

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基于共面敏感单元的高精度三维MEMS电场传感器研究

发布时间：2022-05-30  点击次数：

项目性质：纵向

项目编号：SKT2105

项目批准号：SKT2105

资助额度(万元)：20.0

下一条：高灵敏MENS电场传感器敏感机理及器件研究

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