发布时间：2023-09-16 点击次数：
DOI码：10.1016/j.vacuum.2021.110551
发表刊物：Vacuum
论文类型：期刊论文
文献类型：J
卷号：193
页面范围：110551
是否译文：否
发表时间：2021-01-01
收录刊物：SCI、EI