邱琳Lin Qiu

教授

博士生导师

学科:热能工程

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研究方向

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面向Chip散热的关键材料及技术

我国的Chip制程仍处在14 nm7 nm的过渡阶段,落后发达国家制造水平(5 nm)两代。高端Chip极为匮乏,位居进口商品的首位,对其进行自主研发刻不 容缓。在高性能Chip研发中,Chip内场效应管的尺寸减小、单位密集度增大、运行频率升高等一系列变化造成产生的大量焦耳热难以有效、快速地扩散到Chip外壳及接触的热沉上。积蓄的热量使得Chip温度快速上升,对Chip元器件的稳定性、可靠性和寿命产生有害的影响,已成为自研攻关中不容忽视的卡脖子难题。本梯队开展微纳尺度界面热传递机理及调控的深层次研究,开发兼具高界面热导特点的石墨烯、碳纳米管纤维、垂直/水平/杂化碳纳米管阵列、自组装单分子层等导热材料,并与Chip封装结构集成,力争解决Chip散热难的“顽疾”。

碳纳米管纤维:提出了利用纳米基元分级调控“声子共振、大分子交联”的策略,提升碳管界面热导。一级(碳管间)界面引入乙醇等极性分子来缩短管间距;二级(碳管束间)界面施加贵金属粒子、碘链等纳米基元激活低频声子共振;三级(管束与聚合物分子链间)界面控制分子链含量,最大限度避免过量而造成管间距增大。制成碳管纤维热导率提升了近6倍(374 W/m K,与380 W/m K国际先进水平相当)。

垂直/水平/杂化碳纳米管阵列:提出了分阶段调控微结构接触面积的策略,提升碳管阵列-热沉界面热导。在碳管阵列制备阶段,调节碳源及载气的操作参数,提升阵列的高度均匀性及直径,利于后续与热沉形成更多有效接触面积;在应用阶段,施加涂层、机械剪压等进一步提升接触面积。制成碳管阵列与热沉的界面热导提升了近50倍(3.3×106 W/m2 K,国际领先)

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自组装单分子层:利用溶液法制备出了可在chip表面有序排列的高导热自组装单分子层,从而可以将chip内部产生的热量迅速传递到chip表面,再通过热沉散发出去,避免因温度过高而导致chip性能下降、损坏等问题。制成的自组装单分子层可使chip与封装材料之间的界面热导提升近3倍。

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      CCVD操作实验平台:通过气路控制系统精准调控碳源、保护气氛以及标准气的流量,利用三温区管式炉实现梯度加热和稳定控温,高效合成碳纳米管阵列及石墨烯。

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