基于原子力显微镜（AFM）集成局域热分析的纳米尺度可控热操控技术

纳米尺度表面改性是支撑先进微电子器件制备及生物技术精准图案化的不可或缺的技术。尽管原子力显微镜（AFM）被广泛应用于此类纳米尺度操作，但传统方法严重依赖机械力控制，这一固有特性限制了图案化精度与实验重复性。本文提出一种基于AFM集成局域热分析（LTA）的解耦式纳米热调控策略，通过掺杂硅探针实现了与力无关、由温度控制的改性过程。利用四种聚合物标准样品建立二次温度-电压校准模型，该模型具有高重复性。在相变材料上，通过调控加热电压（6.5–7.5 V），实现了尺寸可控的纳米改性（直径147.3–379.0 nm），其规整的形貌由探针的锥形温度梯度决定。本研究为解决传统AFM基方法的关键局限性提供了可靠途径，并为其在高密度纳米电子学和生物技术领域的应用奠定了基础。

文章链接：https://doi.org/10.1016/j.tca.2026.180310